仪器 类型 性能 指标 | 波长色散 | 能量色散 | |
( Si-PIN )型 | ( SDD )型 | ||
现场应用 测量精度 | 20~50ppm | 200~300ppm | 100~200ppm |
测量时间 | 1~2 分钟 | 4~6 分钟 | 3~5 分钟 |
被测样品要求 | 规则形状 需要制样 | 可以不规则形状 | 可以不规则形状 |
最佳应用范围 | 原料 半成品 | 成品 电子元器件 | 原料、半成品 成品 电子元器件 |
能量分辨率 | 高,约 15eV | 较低,约 160eV | 较低,约 160eV |
荧光强度 | 高 | 低 | 较高 |
技术复杂程度 | 复杂 | 简单 | 较复杂 |
使用寿命 | > 10 年 | > 5 年 | > 5 年 |
仪器价格 | 50 万左右 (国产) | 25 万左右(国产) 60 万左右(进口) | 60 万左右 (国产) |
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